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减少金刚线切割单晶硅片制绒发白问题出现的建议
作者:Steven 发布于:2017-06-27 11:10:11 点击量:

减少金刚线切割单晶硅片制绒发白问题出现的建议

(1)使用分散性好的冷却液,要求冷却液使用低残留的消泡剂,减少冷却液成分在硅片表面的残留;

(2)使用适合的胶水和树脂板,减少对硅片的污染;

(3) 冷却液使用纯水稀释,确保使用的水中没有易残留的杂质;

(4)针对金刚线切割的硅片表面情况,使用活性及清洗效果更适合的清洗剂;

欢乐棋牌(5)使用金刚线冷却液在线回收系统,降低切割过程中硅粉的含量,从而有效控制硅粉在硅片表面残留,同时也可以增加对预冲洗中水温、流量、时间的改善,确保硅粉及时冲洗干净 (6)硅片一经放到清洗台上,必须马上进行处理,在整个清洗过程中让硅片保持湿润。 (7)硅片在脱胶过程中保持表面湿润,不能自然干燥。

(8)硅片在清洗过程中尽可能减少裸露在空气中的时间,以防止硅片表面产生花片。

(9)清洗工作人员在整个清洗过程中不得直接接触硅片表面,必须佩带橡胶手套,以免产生指纹印。

(10)参考文献[2]中电池片端使用双氧水H2O2 + 碱NaOH按照体积比为1:26(3% NaOH溶液)清洗工艺,可有效减少制绒白斑问题的发生。其原理类似于半导体硅晶圆片的SC1清洗液(俗称一号液)。其主要作用机理:硅片表面由于H2O2氧化作用生成氧化膜,该氧化膜又被NaOH腐蚀,腐蚀后立即又发生氧化,氧化和腐蚀反复进行,因此附着在硅片表面的颗粒(如硅粉、树脂、金属等)也随腐蚀层而落入清洗液内;由于H2O2的氧化作用,晶片表面的有机物被分解成CO2、H2O而被去除。此清洗工艺目前已经有硅片厂家采用此工艺处理清洗的金刚线切割单晶硅片,硅片在国内和台湾等电池厂家批量使用未有制绒发白问题的投诉。也有电池厂家也有采用类似的制绒预清洗工艺,也有效的控制了制绒发白出现的。可见在硅片清洗环节增加此清洗工艺来去除硅片残留从而有效解决电池片端制绒发白问题。





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