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金刚线切割硅片表面主要残留来源
作者:www.gizmochica.com 发布于:2017/05/04 14:26:49 点击量:

   (1)冷却液:金刚线切割冷却液的主要成分是表面活性剂、分散剂、消泡剂和水等成分。性能优良的切割液具有良好的悬浮性、分散性和易清洗性。表面活性剂通常都能够有较好的亲水性,在硅片清洗过程中比较容易清洗掉。这些助剂在水中不断搅拌和循环会产生大量的泡沫,导致冷却液流量下降,冷却性能受到影响,泡沫严重甚至会出现泡沫溢出等问题,严重影响使用。故通常冷却液都会配合消泡剂使用。传统的有机硅、聚醚类的消泡剂为保证消泡性能,消泡剂通常亲水性差,在水中溶剂破乳析出,容易在在后续清洗中非常容易吸附并残留在硅片表面,从而产生制绒白斑问题。且不能与冷却液的主体成分很好的配伍,故必须制成双组份,使用稀释时主体成分和消泡剂分别加入水中稀释,使用过程中要根据泡沫情况需要进行补加,无法定量控制消泡剂的使用和补加量,很容易使得消泡剂过量使用,导致硅片表面残留物增加,操作起来也较不方便,但由于其主体成分原料和消泡剂原料价格比较低廉,故国内大多数冷却液均采用此种配方体系;另一种冷却液采用新型的消泡剂,可以与主体成分很好的配伍,不需要补加,能够有效的定量控制其用量,可有效防止过量使用,操做起来也非常方便,配合适当的清洗工艺,其残留物可以控制到很低水平,日本和国内少数厂家采用此种配方体系,但由于其原料成本较高,其价格优势并不明显。 (2)胶水及树脂版:


   金刚线切割过程的后期,靠近进线端硅片已经提前切透,出线端硅片还未切透,提前切透的金刚线已经开始切割到胶层和树脂版,由于硅棒胶水和树脂板都是环氧树脂类的产品,其软化点基本在55-95℃之间,如果胶层或者树脂板的软化点偏低很容易在切割过程中发热导致其变软熔化,附着在钢线和硅片表面,造成金刚线的切割能力下降,或者硅片收到树脂沾污,一旦附着后就很难清洗掉,此类污染多发生在硅片的出刀面边缘附近。


   (3)硅粉:在金刚线切割过程中会产生大量硅粉,随着切割的进行,砂浆冷却液中的微粉含量会越来越高,当微粉量足够大时,便会粘附在硅片表面,而且金刚线切割产生的硅粉的粒型和粒径导致其更容易吸附在硅片表面,使其难以清洗干净。因此,在进行硅块切割时要保证冷却液的更新量和质量,降低冷却液中的微粉含量。


分分pk拾    (4)清洗剂:目前使用金刚线切割的厂家大多同时在使用砂浆切割,大多还是沿用砂浆切割的预冲洗、清洗的工艺和清洗剂等,单金刚线切割技术从切割机理、配套的线、冷却液等都与砂浆切割存在较大的差异,故其相应的清洗工艺,清洗剂用量、配方等都应针对金刚线切割做成相应的调整。清洗剂就是一个重要的方面,原有的清洗剂配方中的表面活性剂、碱度等不一定适合清洗金刚线切割的硅片,应针对金刚线硅片的表面情况、冷却液中的成分及表面残留物的情况开发有针对性的清洗剂,并采取与之配合的清洗工艺。如前所述的消泡剂成分,就是砂浆切割中不需要的成分。


   (5)水:金刚线切割、预冲洗及清洗溢流的水中如果含有杂质,可能会吸附到硅片表面。





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