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高效金刚线冷却液分析单晶制绒发白的原因分析
作者:www.gizmochica.com 发布于:2017/05/04 14:24:38 点击量:

   对制绒发白的硅片进行了扫描电镜的检测,发现制绒发白的区域其制绒后的金字塔微结构基本没有形成,表面似乎有一层“蜡状”的残留物,而同一张硅片未出现发白区域的绒面的金字塔结构形成较好(如图3)。如果单晶硅片表面局部区域有残留物,会造硅片表面有残留区域“金字塔”结构大小和均匀性生成与效果较正常区域有不足,从而造成有残留区域制绒表面反射率较正常区域高,反射率高的区域对比正常区域在视觉上体现为发白。从发白的区域分布形状可以看出,其并不是有规律或者规则的形状大面积出现的,而只是局部区域出现的,应该是硅片表面局部的污染物没有被清洗干净,或者硅片表面局面被二次污染导致的。


   金刚线切割硅片表面更光洁、损伤更小(如图4),相对与砂浆硅片来说,相对于来说碱液跟金刚线切割硅片表面的反应速度较砂浆切割单晶硅片要慢,所以表面残留物对制绒效果的影响更加明显。





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